含氟電子氣分析用氦離子色譜儀

GC-9280型含氟電子氣分析用氦離子色譜儀適用電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測，小檢測濃度可達(dá)5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器，采用中心切割技術(shù)，進樣閥均帶有吹掃保護氣路；整機采用多柱箱設(shè)計，并配備進樣壓力自動校正系統(tǒng)，不同底氣的樣品的進樣量。

氟的技術(shù)指標(biāo)：

項目                                    指標(biāo)

氟（F2）（體積分?jǐn)?shù)）/10-2                       ≥99

氧（O2）+氮（N2）（體積分?jǐn)?shù)）（N2）/10-2    ≤0.45

四氟化碳（CF4）（體積分?jǐn)?shù)）/10-2            ≤0.05

氟化氫（HF）（體積分?jǐn)?shù)）/10-2                ≤0.5

氟氮混合氣的技術(shù)指標(biāo)：

項目指標(biāo)

氟（F2）（體積分?jǐn)?shù)）/10-2  　20

氮（N2）（體積分?jǐn)?shù)）（N2）/10-2　80

氧（O2）（體積分?jǐn)?shù)）（N2）/10-2≤0.08

四氟化碳（CF4）（體積分?jǐn)?shù)）/10-2≤0.03

儀器特點

高純氣體分析專用檢測器

氦放電離子化檢測器對H2、O2、N2、CH4、CO、CO2、等常規(guī)雜質(zhì)均有很高的線性響應(yīng)。這款檢測器是一種靈敏度高通用型檢測器，對幾乎所有無機和有機化合物均有很高的響應(yīng)，特別適合高純氣體的分析，是能夠檢測至ng/g（ppb） 級的檢測器。

采用中心切割技術(shù)，實現(xiàn)儀器的高度自動化

 采用VICI公司生產(chǎn)的吹掃型自動十通閥完成中心切割與反吹技術(shù)，配合吹掃型自動六通閥，一次進樣即可完成復(fù)雜樣品的分離、選擇、檢測。使樣品經(jīng)過不同條件的色譜柱進行有效的分離，通過工作站設(shè)置的時間程序自動控制吹掃閥的進樣、切割、選柱與反吹等過程。

多柱箱系統(tǒng)

系統(tǒng)配置多個獨立柱箱控溫單元，采用一個主柱箱，多個輔助柱箱對不同色譜柱進行獨立控溫。使不同的色譜柱在不同柱箱中分離樣品、單獨活化，避免在檢測和維護工作中需要拆裝色譜柱的問題。

氦氣純化器：

純化器 Valco 氦氣（HP）純化器的純化基質(zhì)是 一種無揮發(fā)性的吸附性合金，吸附劑粒子表面有一層 氧化膜需通過加熱活化，活化過程必須在真空或惰性 氣體環(huán)境下完成，這樣可允許氦氣在其間自由擴散， 防止氧氣純化層的形成，又可以進行雜質(zhì)氣體的吸 附。HP 的吸附劑材料具有良好的熱穩(wěn)定性，包括兩 個溫度控制范圍。 純化氣體：He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn 最大操作壓力：1000Psi

去除氣體：H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3、 CF4 等

殘留濃度：≤10ppb

無死體積的減壓閥和取樣閥，防止氣體殘留造成的分析干擾

載氣減壓閥采用具有兩級穩(wěn)壓功能的全不銹鋼載氣減壓閥，大大提高了壓力穩(wěn)定性，確保基線的穩(wěn)定，同時也降低了閥體內(nèi)的死體積。

樣品取樣采用無死體積的取樣閥，采用帶吹掃保護的取樣方式，有效的避免了空氣殘留的問題，將取樣過程對分析的影響降至低的水平。

自動斷氣保護功能，保障檢測器的安全運行

具有智能的斷氣保護功能，當(dāng)載氣壓力小于安全閾值時，系統(tǒng)會自動切斷檢測器電壓，并色譜儀自動降溫，以保護檢測器及色譜柱不受到損壞。

技術(shù)指標(biāo)

氦放電離子化檢測器

檢測限：≤1.0×10-11g／ml（氦中 CH4   ）

基線噪聲：≤0.1mV

基線漂移：≤0.5mV/30min

線性范圍：≥106

氦氣純化器：

可純化氣體：He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn

操作壓力：1000Psi

去除氣體：H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3、CF4等

純化器類型：可再生純化器

純化級別：7N級甚至更別