氦離子色譜儀適用電子工業用氣體中痕量雜質的檢測,檢測濃度可達5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器,采用普瑞公司的中心切割技術,進樣閥均帶有吹掃保護氣路;整機采用多柱箱設計,并配備進樣壓力自動校正系統,不同底氣的樣品的進樣量。
項目 |
指標 |
|||
高純氪 |
純氪 |
|||
一等品 |
合格品 |
|||
氪氣(Kr)(體積分數)/10-2 |
≥ |
99.999 |
99.995 |
99.99 |
氮(N2)(體積分數)(N2)/10-6 |
≤ |
2 |
8 |
20 |
氧(O2)+氬(Ar)(體積分數)/10-6 |
≤ |
1.5 |
5 |
5 |
氫(H2)(體積分數)/10-6 |
≤ |
0.5 |
1 |
2 |
一氧化碳(CO)(體積分數)/10-6 |
≤ |
0.3 |
0.4 |
1 |
二氧化碳(CO2)(體積分數)/10-6 |
≤ |
0.4 |
0.8 |
1 |
甲烷(CH4)(體積分數)/10-6 |
≤ |
0.3 |
0.8 |
1 |
水分(H2O)(體積分數)/10-6 |
≤ |
2 |
3 |
5 |
氙氣(Xe)(體積分數)/10-6 |
≤ |
2 |
20 |
50 |
氟化物(CF4)(體積分數)/10-6 |
≤ |
1 |
10 |
15 |